技術研發

半導體設備移機不是單純把設備搬到新位置。移機前後如果沒有確認清楚，很容易在安裝後發現定位偏移、管線配置不順、氣 […]

半導體設備出現警報時，最容易讓人誤以為只是單一零件故障。但在實際檢查時，警報往往只是結果，真正原因可能藏在設備

當設備出現手臂取放不穩、定位偏移、閥件漏氣、真空不穩、警報反覆或模組動作異常時，不建議只靠重置、重新校正或短期